技術(shù)文章
TECHNICAL ARTICLES2015年底以來,TEM過濾器公司一直是Porvair過濾集團(tuán)產(chǎn)品家族的一部分。Porvair收購TEM是該公司進(jìn)入高純度氣體過濾和流動產(chǎn)品領(lǐng)域令人興奮的一步,該產(chǎn)品多用于半導(dǎo)體行業(yè)。
TEM為Porvair帶來了一系列低至高流量在線氣體過濾產(chǎn)品,包括PTFE, 316L SS和鎳介質(zhì),各種工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)配件和長度。
Porvair在博伊西的工廠提供行業(yè)的交貨時間和服務(wù),以滿足微電子終端用戶、原始設(shè)備制造商和工藝材料供應(yīng)商的迫切需求。
TEM-415-8的技術(shù)參數(shù)如下:
GasPro™TEM-400系列過濾器專為 3納米的顆粒保留率可達(dá)75 SCFM和 溫度高達(dá)80oC(176oF)。 ePTFE膜(0.21 m2 / 2.3 ft2 )與 內(nèi)部密封聚丙烯支撐結(jié)構(gòu)
不銹鋼316L外殼具有優(yōu)異的流動性和穩(wěn)定性
耐化學(xué)性。使用標(biāo)準(zhǔn)Viton®o型環(huán)
(其他o形圈材料可在復(fù)試時提供)。
應(yīng)用程序
•一般和處理惰性設(shè)施氣體
半導(dǎo)體,平板顯示器和其他高純應(yīng)用。
•清潔干燥空氣的關(guān)鍵計量,檢查和
光刻技術(shù)的應(yīng)用程序。
規(guī)范
•過濾等級
我們的多孔ePTFE過濾器提供高效的顆粒
保留率3納米。
•最高工作溫度*
80°C(176°F)。
建議替換:
工作溫度高于69oC(156oF) 6個月。
•最大工作壓力
17.2 bar (250 psig) @ 20°C(68°F)。
•最大正向流量壓差
20oC(68oF): 6.0bar (87 psi)
美國TEM過濾器部分型號如下:
TEM-415-6
TEM-415-8
TEM-450-6
TEM-450-8
TEM-450-12
TEM-528-6
TEM-528-8
TEM-528-12
TEM-511-6
TEM-511-8
TEM-513-8
TEM-515-6
TEM-515-8
TEM-515-12
TEM-550-6
TEM-550-8
TEM-550-12
TEM-711
TEM-711-6)
TEM-711-8
TEM-713
TEM-714
TEM-715
TEM-723
TEM-724
TEM-725
TEM-811
TEM-811-6
TEM-811-8
TEM-812
TEM-812-6
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